国度学问产权局消息显示，公开号CN121359235A，相关计较机法式产物以及粒子束柱”的专利，仅供参考，专利摘要显示，不形成小我投资。机械调整方式可取电气调整方式连系。举例来说，本发现公开了用于粒子束柱的多种从动化机械调整方式。本文为AI基于第三方数据生成，卡尔蔡司MultiSEM无限义务公司申请一项名为“从动化机械调整粒子束柱的方式，